Огляд продукції
Наша вертикальна пічна труба — це спеціалізоване рішення для термічної обробки, розроблене для виробництва складних напівпровідників та оптоелектроніки. Він створений для забезпечення сталого, повторюваного теплового середовища для критично важливих процесів виготовлення пластин, поєднуючи надійну механічну конструкцію з точним контролем температури та газу для підтримки великого-об’ємного виробництва з вузькими вікнами процесу.
Переваги
Стабільна, надійна робота: система розроблена для-тривалої роботи з низьким{1}}часом простоїв із постійною термічною рівномірністю та повторюваністю процесу, що допомагає підтримувати високу врожайність протягом виробничих циклів.
Сильні гарантії безпеки: Багаторівнева система блокування безпеки постійно контролює температуру, тиск і умови газу, автоматично реагуючи на аномалії, щоб захистити операторів, пластини та обладнання.
Інтуїтивно зрозуміла ефективна робота: інтерфейс і робочий процес спрощено, щоб скоротити час навчання та людські помилки, тоді як оптимізовані цикли завантаження та обробки покращують загальну пропускну здатність і спрощують обслуговування.
Гнучке покриття процесу: сумісний із 6-дюймовими та 8-дюймовими пластинами, вміщуючи до 150 штук за цикл і працюючи від 400 градусів до 1250 градусів, що робить його придатним для різноманітних термічних етапів у сучасному виробництві пристроїв.
Додатки
Ця труба вертикальної печі підтримує повний спектр термічних процесів, які використовуються у виробництві напівпровідників та оптоелектроніки:
Окислення: утворення високоякісних-діелектричних шарів на поверхні пластин
Відпал: зняття напруги, ремонт дефектів і налаштування електричних властивостей матеріалу
Легування: коригування складу та характеристик тонкоплівкових сплавів-
PI Curing: полімерне зшивання та стабілізація поліімідних шарів
Осадження-тонкої плівки: Poly, TEOS, SiN, HTO та інші ключові процеси росту плівки
FAQ
Q: 1. Що таке труба вертикальної печі?
A: Вертикальна пічна труба – це високо-точне обладнання для термічної обробки для виробництва напівпровідників та оптоелектроніки, яке використовується для окислення, відпалу, легування, полімеризації та осадження тонкої плівки.
Q: 2. Для яких процесів використовується труба вертикальної печі?
A: Він підтримує процеси окислення, відпалу, легування, затвердіння PI, Poly, TEOS, SiN, HTO та інші процеси росту тонкої плівки.
З: 3. Які розміри пластин і діапазон температур він підтримує?
A: Він підтримує 6-дюймові та 8-дюймові пластини (до 150 штук на партію) з діапазоном температур процесу 400 градусів –1250 градусів.
Q: 4. Які ключові переваги цієї вертикальної труби печі?
A: Висока надійність і стабільність, повна система блокування безпеки, зручна робота, висока ефективність і чудова рівномірність процесу.
Q: 5. Чи легко працювати та обслуговувати?
A: Так, він має простий інтерфейс, спрощений робочий процес і низькі вимоги до обслуговування.
Q: 6. Чи можна налаштувати його для конкретних процесів?
A: Так, ми пропонуємо налаштування температури, газових систем, рецептів процесу та методів завантаження відповідно до особливих потреб.
Популярні Мітки: вертикальна термічна обробна піч, виробники, постачальники вертикальної термічної обробки в Китаї
