Огляд продукції

Це основний технологічний інструмент, розроблений спеціально для виготовлення печей мокрого окислення (вертикальних-поверхневих-випромінюючих лазерів (VCSEL) пристроїв). Його створено для обробки як оптоелектронних, так і напівпровідникових пристроїв-. Використовуючи спеціалізовану технологію вологого окислення кисню, він створює щільні оптичні шари обмеження та електроізоляційні структури в VCSEL. Крім того, він також працює для загальної пасивації поверхні пластин, надаючи ключову підтримку процесу для підвищення продуктивності пристрою.

Великою перевагою печі мокрого окислення є високо-точне керування: рівномірність температури на вищому-рівні, регулювання водяної пари просте, а стабільність окислення стабільна. Це означає, що він повністю відповідає суворим вимогам до стабільності процесу, які вимагають пристрої VCSEL-. Він також розроблений з надійною системою, працює стабільно та підходить до точних сценаріїв процесу виробництва оптоелектронних пристроїв. Незалежно від того, чи йдеться про дрібно{6}}дослідження та розробки в науково-дослідних установах чи велико-виробництво на підприємствах, воно задовольняє різноманітні потреби-забезпечуючи надійну підтримку обладнання для технологічних проривів і розгортання потужностей у сферах, пов’язаних із-VCSEL, як-от оптичний зв’язок, зондування, лідар тощо.

застосуванняs

Виробництво пристроїв VCSEL: як основний інструмент для виробництва лазерів VCSEL, він створює щільні шари оптичного обмеження та електроізоляційні структури за допомогою спеціальних процесів вологого окислення кисню. Він підтримує створення-високоефективних VCSEL, які використовуються в оптичному зв’язку, 3D-зондуванні споживчої електроніки, автомобільному лідарі та інших галузях.
Пасивація поверхні пластини: працює з універсальними процесами пасивації поверхні пластини для оптоелектронних і напівпровідникових пристроїв. Він оптимізує стан поверхні пластини, збільшуючи надійність і термін служби фотодетекторів і напівпровідникових сенсорів.
Дослідження та розробки передових оптоелектронних матеріалів: пропонує стабільну, точну експериментальну платформу для науково-дослідних установ. Він підтримує дослідження параметрів процесу мокрого окислення для нових оптоелектронних матеріалів (таких як передові матеріали на основі-арсеніду галію) і сприяє просуванню передових-досліджень і розробок оптоелектронних технологій.

Переваги

Високо{0}}точне керування процесом: забезпечує чудову рівномірність температури, легке регулювання водяної пари та надійну стабільність окислення. Це забезпечує структурну однорідність пристроїв VCSEL і дозволяє уникнути коливань продуктивності, викликаних коливаннями процесу.

Висока надійність системи: має стабільну структуру та вдосконалену систему керування для-тривалої стабільної роботи. Він відповідає вимогам точності процесу оптоелектронних пристроїв і скорочує час простою через збої обладнання.

Сильна сумісність з процесами: фокусується на вологому окисленні VCSEL, одночасно підтримуючи універсальну пасивацію. Він адаптується до виробництва та досліджень і розробок різних продуктів, покращуючи використання обладнання.

Гарантія високої продуктивності: покращує електричну ізоляцію пристроїв VCSEL і ефект утримання світлового поля завдяки стабільному контролю температури, точному регулюванню водяної пари та оптимізованим процесам-, що ефективно знижує кількість дефектів.

Параметри

Розмір вафель	4-6 дюймів
Діапазон температур	300 градусів -500 градусів
Застосовний процес	VCSEL мокре окислення
Точність регулювання температури	Менше або дорівнює ±0,5 градуса
Рівна зона	250 мм
Рівномірність окислення	R Менше або дорівнює 1 мкм

FAQ

Це обладнання використовується лише для виробництва печі мокрого окислення?

Ні, цим не обмежується. Окрім основного процесу мокрого окислення пристрою VCSEL, він також сумісний із загальною обробкою пасивації поверхні пластин для оптоелектронних і напівпровідникових пристроїв, адаптуючись до виробництва та досліджень і розробок різних продуктів.

Наскільки точні параметри регулювання температури та вологості з точки зору управління процесом?

Чудова рівномірність температури, зручна регуляція вологи та хороша стійкість до окислення. Він точно забезпечує однорідність шару оптичного обмеження та структури електричної ізоляції пристроїв VCSEL, уникаючи впливу коливань процесу на продуктивність.

Наскільки стабільно працює обладнання та чи зможе воно задовольнити масове виробництво чи довгострокові-потреби в дослідженнях і розробках?

Завдяки стабільній структурі та зрілій системі керування він може працювати стабільно протягом тривалого часу, скорочуючи час простою через несправності. Він відповідає потребам безперервного масового виробництва підприємств і довгостроковим-експериментальним потребам дослідницьких установ.

Чи може це підтримувати дослідження процесів для нових оптоелектронних матеріалів?

Так, він забезпечує стабільну та точну експериментальну платформу для дослідницьких установ, підтримуючи дослідження параметрів процесу мокрого окислення для нових оптоелектронних матеріалів, таких як покращені матеріали на основі-арсеніду галію, сприяючи-дослідженню та розробці передових технологій.

Чи існують особливі вимоги до розміру пластини?

Він в основному адаптується до загальних специфікацій пластин VCSEL і пов'язаних пристроїв. Зокрема, він може запропонувати індивідуальні рішення для адаптації відповідно до вимог розміру пластини фактичного виробництва користувачів або науково-дослідних робіт.

Популярні Мітки: піч мокрого окислення, виробники, постачальники печей мокрого окислення в Китаї