Огляд продукції

Вертикальні та горизонтальні трубчасті термічні печі нашої компанії зосереджені на високо-точному контролі температури-вони виконують усі ключові термічні обробки напівпровідників, як-от окислення, дифузія та відпал-незалежно від того, чи це для масового виробництва чи лабораторних досліджень і розробок. Справжні відмінності між ними зводяться до структури та того, як вони відповідають конкретним цілям:

Вертикальна трубчаста термічна піч

Вертикальна трубчаста піч економить простір, вміщує менше або дорівнює 8-дюймовим пластинам (доступний 12-дюймовий промисловий варіант). Основні характеристики: максимальна зона постійної температури 850 мм, точність контролю ±0,5 градуса.

Промислова модель: збільшує масове виробництво IC/IGBT завдяки безперервній пакетній обробці. Дослідницька модель: Забезпечує середньо-низькотемпературні потреби SiC/квантовий чіп для перевірки малих-серій.

Горизонтальна трубчаста термічна піч

Конструкція горизонтальної трубчастої печі, гнучка конфігурація 1-4 труби; 300-1000 мм настроювана зона постійної температури, діапазон 400 градусів -1200 градусів.

Промислова модель: багато{0}}інтеграція процесів для легування пластин/формування структури. Модель дослідження: поєднує навчання та розвиток, ідеально підходить для невеликих-серійних експериментів університету.

Обидва використовують чисті камери та стабільний контроль температури, що покриває потреби напівпровідників у нагріванні від досліджень і розробок до масового виробництва.

Додатки

- Для університетів/дослідницьких установ: підтримує невеликі-дослідження та розробки SiC, квантових чіпів тощо, що сприяє перевірці нових матеріалів і тестуванню продуктивності.
- Мікро-нанообробка: обробляє дифузію, окислення, відпал, LPCVD-служить гнучкою платформою для дослідження оптоелектронних/фотонних пристроїв.
- Дослідження та розробки оптичних пристроїв: підходить для розробки вбудованих оптичних хвилеводів/високошвидкісних фотонних пристроїв; відповідає потребам термічної обробки LiNbO₃ в протонному обміні.
- Викладання в університеті: допомагає експериментальному викладанню/розробці процесу, допомагає оволодіти напівпровідниковим тепловим обладнанням і поєднати теорію з технікою.

Переваги

Високо{0}}точний контроль температури:

±0,5 градуса точність; навіть при 1100 градусах стабільність однієї -точки залишається ±0,5 градуса протягом 24 годин, забезпечуючи надійну повторюваність даних.

Багато{0}}сумісність із процесами:

Вертикальні печі підтримують дифузію/окислення; горизонтальні додають відпал & LPCVD. Обидва підходять для досліджень і розробок SiC/квантових мікросхем.

Дослідницька{0}}пристосованість:

Працює з пластинами розміром менше або дорівнює 8-дюймів (1-4 трубки на вибір). Однотрубна дрібносерійна конструкція скорочує витрати; підтримує тривалі безперервні прогони для експериментів.

Параметри

Пункт	Вертикальна трубчаста піч	Горизонтальна трубчаста піч
Діапазон температур	200 градусів -600 градусів, 600 градусів -1200 градусів (два діапазони необов'язкові)	200 градусів -600 градусів, 600 градусів -1200 градусів (два діапазони необов'язкові)
Точність контролю температури	Менше або дорівнює ±0,5 градуса	Менше або дорівнює ±0,5 градуса
Рівномірність температури	-	Менше або дорівнює ±1 градусу
Стабільність-температури в одній точці	Менше або дорівнює ±0,5 градуса при 1100 градусах протягом 24 годин поспіль	Менше або дорівнює ±0,5 градуса при 1100 градусах протягом 24 годин поспіль
Максимальна швидкість нагріву	10 градусів / хв	10 градусів / хв
Довжина зони постійної температури	200-500мм	200-500мм

FAQ

Які розміри пластин обробляє трубчаста термічна піч?

І вертикальні, і горизонтальні моделі підтримують пластини розміром до 8 дюймів.

Які основні процеси вони можуть виконувати?

Вертикальна трубчаста піч: охоплює дифузію, окислення та відпал.
Горизонтальна трубчаста піч: додає інтеграцію LPCVD на додаток до цих основ.

Чи можна налаштувати кількість технологічних трубок?

Абсолютно-ви можете вибрати від 1 до 4 трубок на одиницю залежно від ваших потреб.

Наскільки точний контроль температури?

Точність контролю температури становить ±0,5 градуса. Навіть при 1100 градусах одна точка зберігає стабільність в межах ±0,5 градуса протягом 24 годин поспіль. Для горизонтальних печей рівномірність температури також знаходиться в межах ±1 градус.

Як щодо швидкості нагрівання та діапазону температур?

Максимальна швидкість нагрівання становить 10 градусів за хвилину, доступні два діапазони температур: 200-600 градусів і 600-1200 градусів.

Чи регулюється довжина зони постійної температури?

За замовчуванням він коливається від 200-500 мм, і підтримується налаштування.

Що краще для університетських дослідницьких лабораторій?

Обирайте вертикальні, якщо вам потрібні базові процеси-це економить місце та-рентабельно. Виберіть горизонтальний, якщо вам потрібен LPCVD, підтримка навчання або для поєднання лабораторної роботи з масовим виробництвом.

Чи можна проводити тривалі експерименти? Чи дорого коштує обслуговування?

Він підтримує безперервну довготривалу-роботу. Технічне обслуговування нечасте, тому витрати залишаються контрольованими.

Чи підходить він для пілотного чи мало{0}}серійного виробництва?

Так-обидві моделі плавно перемикаються між дослідженнями та розробками та малим{1}}серійним виробництвом.

Популярні Мітки: трубчаста термічна піч, виробники, постачальники трубчастої термічної печі в Китаї