Огляд продукції
Автоматичне обладнання RTP, сумісне з 8-12-дюймовими пластинами, має конструкцію з одно-/подвійною-порожниною та спеціально розроблене для масового виробництва. Інтегруючи роботів та інші компоненти, він забезпечує повністю автоматизоване завантаження, відпал і охолодження пластин. Він може взаємодіяти з системами управління виробництвом і підтримувати різні процеси для однієї вафельної бочки. Завдяки точному контролю температури та стабільній роботі (швидкість руйнування пластин менше або дорівнює 1/10000), він включає численні засоби захисту та підходить для високоточних процесів відпалу в напівпровідниковій та інших областях.
особливості
У нас є варіанти обладнання, що охоплюють різну ширину та кількість камер, що забезпечує стабільну продуктивність за ключовими параметрами.
Він працює як із налаштуваннями відкритої касети, так і SMIF, автоматично керуючи всім процесом-від відображення й вирівнювання до перенесення пластин, відпалу та охолодження.
Програмне забезпечення дає змогу вибирати попередньо встановлені рецепти, адаптовані до окремих вафель в тій самій касеті, водночас повідомляючи про стан-обробки в реальному часі.
Ця повністю автоматизована система бездоганно інтегрується з існуючою інфраструктурою EAP/MES для більш плавної координації робочого процесу.
Під час інсталяції та налагодження наші-інженери післяпродажного обслуговування будуть-на місці, щоб надати практичну-підтримку та вирішити будь-які проблеми, що виникають.
Переваги
- Завдяки використанню подвійних інфрачервоних галогенних ламп для обігріву в поєднанні з швидким охолодженням азотом система може похвалитися ефективною та стабільною теплою циркуляцією.
- Спеціальна конструкція групування ламп забезпечує більш рівномірну температуру в усій зоні обробки.
- Вбудований-алгоритм ПІД-контролю дозволяє-регулювати потужність лампи в реальному часі, підтримуючи точний контроль температури протягом усього процесу.
- Три{0}}рівневе керування доступом користувачів забезпечує зручний і безпечний контроль інформації. Основний інтерфейс програмного забезпечення відображає ключові параметри, такі як швидкість потоку газу, температура та рівень вакууму в режимі реального часу, забезпечуючи чіткий огляд стану.
- Система автоматично зберігає всі-пов’язані з процесом дані для легкого відстеження в майбутньому.
- Він має комплексний механізм захисту від аномалій, який негайно активує захист після виявлення несправності, включаючи перегрів (камера з алюмінієвого сплаву з водяним охолодженням більше або дорівнює 70 градусам), ненормальні показники термопари, ненормальну потужність нагріву, незаблоковані дверцята печі, надмірний тиск газу, недостатній потік води та витік води.
- Функцію аварійної зупинки можна запустити однією кнопкою, негайно перериваючи всі процеси та відключаючи джерело тепла.
Параметри
|
Модель |
РТП-200 |
РТП-300 |
|
Розмір вафель |
8 дюймів і нижче 12 дюймів і нижче |
8 дюймів і нижче 12 дюймів і нижче |
|
Номер палати |
1 |
2 |
|
Номер завантаженої касети |
2 |
2 чи 3 |
|
Завантажте касету метод |
SMIF або Open Cassette |
|
|
Розмір |
1600 мм × 2450 мм × 2200 мм (W×D×H) |
2100 мм × 2450 мм × 2200 мм (W×D×H) |
|
Діапазон температур |
RT ~ ~ 800 градусів (Контролюється термопарою) 500 градусів ~1250 градусів (Контролюється пірометром) |
RT ~ ~ 800 градусів (Контролюється термопарою) 500 градусів ~1250 градусів (Контролюється пірометром) |
|
Максимальна швидкість нагріву |
150 градусів / с --- Лише пластини 20 градусів / с --- носій SiC 30 градусів / с---Графітове покриття SiC |
150 градусів / с --- Лише пластини 20 градусів / с --- носій SiC 30 градусів / с---Графітове покриття SiC |
|
Рівномірність температури |
Менше або дорівнює ±3 градусам @ Менше або дорівнює 600 градусам Менше або дорівнює ±0,5% при ＞600 градусів |
Менше або дорівнює ±3 градусам @ Менше або дорівнює 600 градусам Менше або дорівнює ±0,5% при ＞600 градусів |
|
Повторюваність температури |
±1 градус |
±1 градус |
|
Кількість ламп/SCR |
33шт / 10 набір |
45 штук / 16 комплектів 55 шт. / 24 шт |
|
Макс МФЦ |
6 |
6 |
|
Найнижчий тиск |
30 мторр |
30 мторр |
|
Швидкість витоку |
10 мТорр/хв |
10 мТорр/хв |
|
O2Відсоток |
<1 проміле |
<1 проміле |
|
Автоматичний |
OCR+Робот (подвійна рука)+пальці (вакуум/Бернуллі)+вирівнювач+станція охолодження |
|
|
WPH (прогноз) |
5 |
|
|
Час роботи |
＞92% |
|
|
Середній час очищення (MTTC) |
Менше або дорівнює 6 годинам |
|
|
Середній час до ремонту (MTTR) |
Менше або дорівнює 4 годинам |
|
|
Середній час напрацювання на відмову (MTBF) |
Більше або дорівнює 200 годинам |
|
|
Середня кількість пластин між розривом (MWBB) |
Менше або дорівнює 1 на 10 000 пластин |
|
|
Максимальна/середня потужність |
90/ 60 кВт (ATS-8) 100/80 кВт (ATS-12) |
180/120 кВт (DTS-8) 200/160 кВт (DTS-12) |
|
Напруга |
380 В/ 60 Гц/ 3 фази 5 проводів |
380 В/ 60 Гц/ 3 фази 5 проводів |
|
Спосіб контролю |
Керування ПК |
Керування ПК |
FAQ
Чи сумісне автоматичне RTP обладнання з 8/12-дюймовими пластинами? Чи потребує масштабування до 12-дюймового виробництва заміна обладнання?
Повністю сумісний. Масштабування вимагає лише налаштування параметрів програмного забезпечення; не потрібна заміна обладнання, що знижує витрати.
Чи можна його інтегрувати з існуючими системами EAP/MES? Чи вплине це на виробничу лінію?
Можлива повна інтеграція. Інженери забезпечать-налагодження на місці, підвищуючи ефективність і узгодженість виробничої лінії.
Чи можна встановити різні процеси для однієї вафельної бочки? Операція складна?
Підтримує «кілька процесів на бочку». Програмний інтерфейс дозволяє легко вибрати та налаштувати, не потребуючи додаткового навчання.
Чи є захист безпеки у разі надзвичайних ситуацій? Чи пошкодить це пластини чи поранить персонал?
Він має захист від аварійної зупинки та автоматичного виявлення ризику для захисту як пластин, так і персоналу.
Атестація
◆ Сертифікація відповідності SEMI S2
Популярні Мітки: автоматичне обладнання rtp, виробники, постачальники автоматичного обладнання rtp у Китаї
