Розширення нових можливостей у виробництві напівпровідників! Nice Tech запускає подвійну-серію обладнання LPCVD, що поєднує точність і ефективність
Якщо ви слідкуєте за розвитком напівпровідникового обладнання, ви знаєте, наскільки надійні інструменти LPCVD-важливі, особливо для команд, які займаються дослідженнями та розробками та масовим виробництвом. Ось чому щойно-оприлюднена серія Nice Tech Horizontal and Vertical LPCVD виглядає як-картина. Це не просто «ще один набір машин»; вони створені, щоб усунути реальні проблеми, про які ми чули від інженерів: плямиста однорідність плівки, жорсткі обмеження розміру пластини та клопоти з перемиканням між процесами.
Для тих, хто новачок у LPCVD: це основа створення ключових напівпровідникових плівок-нітриду кремнію, оксиду, полікристалічного кремнію-шляхом нагрівання газових сполук під низьким тиском для покриття пластин. Nice Tech роками вдосконалювала цю технологію, і з цими двома моделями вони зосередилися на тому, що насправді потрібно різним командам.
Спочатку візьміть горизонтальний LPCVD. Це створено для людей, які носять різні головні убори-як команди дослідників і розробників, які одного тижня тестують нові процеси, а наступного — нарощують дрібно{2}}серійне виробництво. Він без зайвих зусиль перемикається між окисленням, дифузією та відпалом, що економить багато часу порівняно з жонглюванням окремими інструментами. Ми бачили, як лабораторії витрачали години на переналаштування обладнання; цей вирізає це. Він обробляє пластини розміром 8-дюймів і менше, а однорідність плівки? Постійно менше ±2%. Крім того, його збірка є важкою і працює тижнями без простоїв, що важливо, коли у вас стислі терміни проекту.
Горизонтальний LPCVD
Крім того, є вертикальний LPCVD, створений для вищої ліги: масове виробництво 6-12-дюймових пластин. Якщо ваша лінія пов’язана з автоматизацією (а будьте правдивими, більшість сучасних засобів так і є), це підійде. Більше жодних ручних налаштувань, які сповільнюють роботу-це бездоганно синхронізується з інтелектуальними виробничими лініями. Це також забезпечує осадження тонкої-плівки SiC, що є величезним для високотемпературних силових пристроїв-у широкозонних напівпровідниках. Рівномірність тут становить ±3%, чого більш ніж достатньо для великих серій, і він не відстає від жорстких виробничих цілей без шкоди для якості.
Вертикальний LPCVD
Обидва спільні розумні основи: контроль температури, який залишається в межах ±0,5 градуса (критично для однорідних плівок) і діапазон 500-800 градусів, який працює для більшості основних тонких плівок. А якщо потрібно щось понад стандартні три плівки? Команда Nice Tech розробить спеціальне рішення – ми поговорили з їхніми інженерами, і вони досить гнучко підходять до налаштування процесів для конкретних потреб.
Ось що нам найбільше подобається: вони не змушують вас вибирати між «інструментом дослідження та розробки» та «інструментом виробництва». Horizontal ідеально підходить для лабораторій, що тестують ніобат літію або плівки квантових мікросхем; Vertical сяє на фабриках, що випускають 12--дюймові пластини для мікросхем. А обслуговування? Кожні 6-12 місяців, лише очищення порожнини та калібрування температури - Nice Tech навіть надсилає нагадування, щоб ви не забули.
Провідний інженер Nice Tech сказав просто: «Ми не просто створювали машини-ми створили щось, що росте разом із вашою роботою». Ось така тут атмосфера. Ці інструменти не стосуються прапорців; вони спрямовані на те, щоб полегшити командам досягнення своїх цілей, будь то перевірка нового процесу чи збільшення виробництва.
Прямо зараз відкриті попередні-замовлення. Якщо ви втомилися від інструментів, які роблять лише одну справу, або для продовження роботи яких потрібен докторський ступінь, варто звернутися до їх команди. Ми вважаємо, що це таке обладнання, яке зніме головний біль із-осадження тонкої плівки-як у лабораторії, так і на заводі.
