Технічний принцип
3D оптичний профілометр в основному використовує дві оптичні технології:
1. Технологія інтерференції білого світла: шляхом аналізу фазових змін інтерференційних смуг і розрахунку різниці висоти поверхні, вона має субнанометрову поздовжню роздільну здатність.
2. Конфокальна технологія: використовуючи принцип сполученого фокусування лінзи об’єктива, точність фокусування досягає 2 нм, що підходить для вимірювання поверхонь з великим нахилом.
Поле застосування
1. Точне виробництво: аналіз відмов напівпровідникових мікросхем, характеристика пристроїв MEMS.
2. Дослідження матеріалів: виявлення корозії металів/пластику, вимірювання відбивної здатності оптичної плівки.
3. Промислові випробування: аналіз зносу автомобільних компонентів, оцінка площинності аерокосмічних компонентів.
