Три{0}}вимірний оптичний профілометр забезпечує точність вимірювань від мікрометра до нанометра за допомогою інтерференції білого світла або конфокальної технології та аналізує три{1}}вимірну морфологію, шорсткість і контур поверхонь твердих матеріалів. Цей інструмент має -безконтактні вимірювальні характеристики, уникаючи пошкодження вимірюваної поверхні, і підходить для різних матеріалів, таких як прозорі/метал/високі відбиття. У галузі машинобудування, напівпровідників, аерокосмічної промисловості тощо 3D-оптичні профілометри широко використовуються для контролю якості, моніторингу процесів і розробки продуктів.
До 2025 року основні моделі, такі як ZeGage Pro і SuperViewW1, матимуть як сейсмічні характеристики, так і можливості автоматизованого вимірювання з точністю вимірювань, що перевищує рівень 0,1 нм. Функції приладу включають мікроморфологічний аналіз, розрахунок кривизни та визначення характеристик тонкої плівки, які відповідають стандарту ISO 25178 і стали основним обладнанням для визначення сучасного точного виробництва
