Навігація безмаскової УФ-літографії: виберіть правильну модель для свого проекту

Якщо ви коли-небудь сканували списки літографічних систем і запитували: «Яка з них насправді відповідає моїм потребам?»-ви не самотні. Незалежно від того, створюєте ви прототип у лабораторії чи масштабуєте промислове виробництво, вибір моделі безмаскової ультрафіолетової літографії Nice-tech зводиться до відповідності ваших цілей ключовим специфікаціям. Давайте розберемо наш асортимент, щоб спростити ваш вибір.

Почніть зі своїх "обов'язкових{0}} речей"

Спочатку дайте відповідь на два запитання, щоб швидко звузити варіанти:

Яка найменша функція мені потрібна? (Прив’язується до критичного розміру/мінімальної кількості рядків/пробілів.)

Як швидко мені потрібно виготовити? (Відноситься до швидкості експозиції.)

Усі наші моделі не мають фізичних масок (великі для гнучкості!), але вони оптимізовані для точності, швидкості чи великих підкладок. Ось як вони складаються.

1. Академічні дослідження та точність дрібних-серій: MLM 100

Для університетських лабораторій або стартапів, які створюють прототипи мікропристроїв (MEMS, мікрофлюїдика), UV Litho-ACA поєднує точність і економію простору.

Точність: критичний розмір (CD) 0,8 мкм, лінії/прогалини 1,0 мкм (чудово підходить для-лабораторних робіт).

Швидкість: до 100 мм²/хв (три варіанти лінз-ідеально для ітераційного тестування).

Простір: компактні розміри 750 × 800 × 700 мм (320 кг), потрібно лише 1,5 м × 1,5 м (підходить для невеликих лабораторій).

Бонус: додатковий відтінок сірого, підтримує формати GDS/DWG/DXF.

2. Високоточні-промислові роботи: MLM 200

Коли надзвичайно-деталі (передові датчики, високо-стружки) і консистенція мають значення, UV Litho-ACA Pro+ забезпечує це.

Точність: 0,4 мкм CD, 0,8 мкм рядків/пробілів, точність накладення 350 нм (різні багатошарові структури).

Швидкість: до 100 мм²/хв (чотири лінзи-стійкі для малого--середнього виробництва).

Перевага: підтримка відтінків сірого (до 4096 рівнів) для 3D-мікроструктур (наприклад, мікро-оптика).

Площа: площа 2,2 × 1,7 м (590 кг)-підходить для промислових установок.

3. Критичні потреби в градаціях сірого: MLM 300

Якщо для вашого проекту потрібні відтінки сірого (без винятків-наприклад, спеціальні мікро-лінзи, біомедичні імплантати), UV Litho-ACA Master створено для цього.

Відтінки сірого: необов’язковий- (без компромісів щодо якості 3D).

Точність: така ж, як у Pro+ (0,4 мкм CD, точність накладення 350 нм).

Швидкість: швидше, ніж Pro+ (до 150 мм²/хв)-краще для трохи більших партій.

Простір: як у Pro+ (2,2 м × 1,7 м, 590 кг).

4. Масове виробництво та великі підкладки: MLM 400

Для -об’ємної роботи (великі дисплеї, сонячні батареї) UV Litho-S надає пріоритет швидкості та розміру.

Швидкість: найшвидша в нашій лінійці-до 2500 мм²/хв (дві лінзи, скорочується час виробництва).

Субстрати: обробляє до 200 мм × 200 мм (інші макс. 150 мм × 150 мм).

Точність: 1,0 мкм CD, 2,0 мкм рядків/пробілів (більш ніж достатньо для промислових потреб).

Площа: площа 2,7 м × 2,3 м (1400 кг)-ідеально підходить для виробничих цехів.

5. Точність + великі підкладки: MLM 500

Якщо вам потрібні великі підкладки та краща точність (-гнучкі датчики високого класу), UV Litho-S+ — це найкращий варіант.

Точність: 0,5 мкм CD, 0,5 мкм рядків/пробілів, точність накладення 250 нм (найкраще в нашій лінійці).

Швидкість: до 1200 мм²/хв (на три лінзи-швидше, ніж серія ACA для великих підкладок).

Субстрати: 200 мм × 200 мм макс. (масштаби без перемикання моделей).

Простір: те саме, що UV Litho-S (2,7 м × 2,3 м, 1400 кг).

Швидка шпаргалка: відповідайте своєму проекту

Заключні примітки

Усі моделі нашої УФ-літографії без маски включають автоматичне перемикання лінз (економить час!) і сертифікати ISO (ISO 9001/14001/45001 для надійності). Ми також пропонуємо спеціальні-великі площі експозиції (до 4 м²)-просто запитайте.

«Правильна» модель не є найдорожчою-це та, яка відповідає вашим вимогам. Маєте запитання щодо сценарію використання? Зв’яжіться з нами зараз, щоб вибрати найбільш підходяще рішення безмаскової УФ-літографії.