Наше-обладнання високотемпературного окислення RTP є основним термічним інструментом для-великомасштабного виробництва напівпровідників-його основною роботою є створення чистих, щільних плівок SiO₂ на кремнієвих підкладках, ідеальних для виготовлення пристроїв CMOS, IGBT і MEMS. Він широко використовується у виробництві напівпровідників, нової енергетичної електроніки, високо-електронних компонентів і навіть в університетських/дослідницьких лабораторіях для досліджень і розробок напівпровідників і дослідного виробництва.
Як вибрати правильну модель
Вибір правильного зводиться до ваших виробничих потреб і процесів-ось простий розподіл:
Модель 1. 12-inch
Якщо вам подобається розширене масове виробництво великих-вафель, то це саме те. Він може обробляти понад або дорівнює 125 пластинам на човен, тому він чудово підходить для великого-масштабного-виробництва напівпровідникових пристроїв із серцевиною. Крім того, він забезпечує точний контроль температури (±0,5 градуса) і зону постійної температури більше або дорівнює 850 мм, забезпечуючи постійну товщину плівки (WIW/WTW/RTR менше або дорівнює ±2%) для кожної партії.
Модель 2. 8-inch
Це все про гнучкість. Він працює з кількома методами окислення-сухим киснем (Si) і вологим киснем (швидке випаровування/водяна баня/запалювання H2O)-тому відповідає більшості основних потреб масового виробництва. Щодо температури-, вона коливається від 600-1150 градусів з точністю контролю менше або дорівнює ±0,5 градуса, а його зона постійної температури (300-860 мм) забезпечує надійну однорідність плівки (WIW/WTW менше або дорівнює ±2%). Його розроблено для масового виробництва 8-дюймових екранів, тож ефективність відповідає вимогам великих масштабів.
Для кого це і де підходить
Великі виробники напівпровідників: 12--дюймова модель — це ваш вибір для запуску мікросхем CMOS, пристроїв живлення IGBT та інших основних компонентів у великих обсягах.
Компанії основної електроніки/нової енергетики: 8{1}}дюймова модель сяє тут-незалежно від того, чи створюєте ви автомобільну електроніку, базові компоненти зв’язку 5G, чіпи споживчої електроніки чи силові напівпровідники, її багатопроцесорна сумісність забезпечує безперебійне виробництво.
Університети та дослідницькі установи: 8-дюймова модель ідеально підходить для тестування нових напівпровідникових матеріалів або розробки прототипів передових пристроїв. Він легко адаптується до різних установок R&D, що є великим плюсом для лабораторних робіт.
Коротка примітка щодо якості: ми використовуємо професійні матеріали та продуману конструкцію камери, тож чистота плівки гарантована-без небажаних домішок, які можуть зіпсувати ситуацію. І обидві моделі відрізняються стабільністю процесів завдяки точному контролю температури та незмінній якості плівки.
Все ще не впевнені, що найкраще підходить? Звертайтеся до нас, і ми допоможемо підібрати необхідне обладнання для вашого робочого процесу!
