Огляд продукції

Цей окремий очищувач пластин створено спеціально для роботи з напівпровідниковими пластинами-і охоплює всі формати від 8 до 12 дюймів, без винятків. Кожна модель оснащена точним керуванням процесом (нагріванням, концентрацією, швидкістю потоку) і зв’язком SECS/GEM, тому інтегрувати її в інтелектуальні фабрики легко. А ще краще, його можна повністю налаштувати відповідно до потреб вашої програми.

Ось як розбивається серіал:

SWC 100:

Розроблено з урахуванням 12--дюймових пластин. Він має 8 камер і працює з 4 FOUP, обробляючи всі стандартні мокрі процеси, які вам знадобляться -щодня.

SWC 200:

Ще один 12-дюймовий фокусований варіант, але з посиленням — 12 камер замість 8, плюс 4 сумісності FOUP. Основні процеси? Точно так само, як SC3100, тому не потрібно нового навчання.

SEC Plus:

Гнучкий із групи. Він працює як з 8--дюймовими, так і з 12-дюймовими пластинами, і ви можете налаштувати кількість камер від 2 до 8. Ідеально підходить для силових пристроїв і процесів на основі кремнію.

Переваги

◆ Гнучкість формату та конфігурації

SWC100 / SWC 200: фіксована опора 12-дюймів (8/12 камер) для стандартного виробництва великої кількості.

SEC Plus: сумісність із 8–12-дюймами + настроювані камери, адаптація до робочих процесів пристроїв із змішаним форматом/потужністю.

◆ Точний контроль процесу

Усі моделі: контроль нагріву/концентрації/потоку/тиску, а також додаткові хімікати (DHF, SC1 тощо) і насадки 3 штуки для рівномірної обробки.

SEC Plus: Додано кислотне/основне/органічне відділення вихлопних газів + хімічна регенерація, що підвищує безпеку та економічну ефективність.

◆ Широка сумісність

SWC100 / SWC 200: підтримка 4FOUP для інтеграції 12-дюймової фабрики.

SEC Plus: сумісність з 2–4 відкритими касетами/SMIF/FOUP, встановлення застарілих і сучасних виробничих ліній.

Додатки

01/

SWC100 / SWC 200 (12-дюймові пластини)

Основні процеси: очищення RCA, очищення GATE, травлення/зняття оксиду, видалення фоторезисту.

Конкретне використання: видалення часток/металів/органічних забруднень, очищення перед-/після, очищення з’єднань Al/Cu (для мікросхем логіки/пам’яті).

02/

SEC Plus (8–12-дюймові пластини)

Цільові пристрої: пристрої з карбідом кремнію/кремнієм, технологічні пристрої на основі кремнію-.

Конкретні процеси: розрідження/очищення задньої сторони, очищення тонкої пластини, високо{0}}температурне травлення H3PO4, а також стандартне видалення забруднення та очищення з’єднань.

Параметри

Специфікація	SWC100	SWC 200	SEC Plus
Розмір вафель	12 дюймів	12 дюймів	8-12 дюймів
Палати	8 камер	12 камер	2-8 камер (налаштовується)
Сумісність оператора	4FOUP	4FOUP	2-4 Відкрийте касету/SMIF/FOUP
Підтримувані хімії	DHF, SC1, SC2, DIO3, DICO2, IPA, N2	DHF, SC1, SC2, DIO3, DICO2, IPA, N2	Etchant,SC1+Megasonic,DHF,DICO2,N2
Особливості управління процесом	Контроль нагріву/концентрації/потоку/тиску	Контроль нагріву/концентрації/потоку/тиску	Контроль нагріву/концентрації/потоку/тиску
Підтримка постачання хімікатів	N/A	N/A	CCSS, LCSS
Управління вихлопом	N/A	N/A	Окремий вихлоп (кислотний/основний/органічний)
Додаткові функції	N/A	N/A	Хімічна регенерація; захист ванни від перегріву; витік виявлення
Протокол зв'язку	SECS/GEM	SECS/GEM	SECS/GEM

FAQ

Які розміри пластин підтримують ці моделі?

SWC100 / SWC 200 підтримують лише 12-дюймові пластини; SEC Plus є гнучким для 8–12-дюймових пластин.

Яка різниця між SWC100 і SWC 200?

Вони мають однакові 12{1}}-дюймові технологічні можливості – SC3100 має 8 камер, тоді як SWC 200 розширюється до 12 камер для більшої продуктивності.

Яка модель підходить для обробки енергетичних пристроїв?

SEC Plus оптимізовано для карбіду кремнію/кремнієвих силових пристроїв (підтримує розрідження задньої сторони, високо{0}}температурне травлення H3PO4).

Чи можуть ці системи підключатися до MES нашої фабрики?

Так-усі моделі повністю підтримують протокол зв’язку SECS/GEM для заводської інтеграції.

Чи підтримує серія SE функції економії-хімічних засобів?

Так, це включає в себе функцію хімічної регенерації (переробляє технологічні хімікати) і дренаж класифікованих відходів.

З якими операторами працюють ці системи?

SWC100 / SWC 200 використовуйте 4FOUP; SEC Plus підтримує 2–4 Open Cassette/SMIF/FOUP (адаптується до застарілих/сучасних ліній).

Популярні Мітки: очищувач одинарних пластин, виробники, постачальники очищувачів одинарних пластин