Огляд продукції

Система Nice-Tech' 8-ind IBD спеціалізована для низько-температури, високої-щільності та високо-однорідного нанесення тонкої-плівки на 8-дюймові пластини. Він використовує технологію розпилення з налаштуванням подвійного-іонного-джерела (розпилення + допоміжне джерело): основне джерело генерує осаджені частинки, тоді як допоміжне джерело забезпечує попереднє очищення на місці та ущільнення плівки.

Оснащений 4-слотовим поворотним цільовим барабаном (підтримує до 4 цільових матеріалів) і-системою оптичного керування в реальному часі (відстежує/коригує спектри плівки), він додатково інтегрує травлення іонним променем (IBE) для «осадження-травлення» в одній камері. Відповідає стандартам напівпровідників, він підходить для масового виробництва 8-дюймових екранів і досліджень і розробок.

Переваги

Плівки низької-температури високої-щільності

Створює високо{0}}якісні щільні плівки за низьких температур і над-низького тиску. Це повністю запобігає пошкодженню пластини та безпосередньо підвищує -тривалу довговічність пристрою.

Багато-універсальність матеріалів

Оснащений барабаном із 4-слотами, він підтримує як одинарну, так і композитну плівку-, що покриває метали, сплави, оксиди тощо – не потрібно частої заміни цілей.

Інтегрований контроль точності

Виберіть IBE, щоб отримати «попереднє-очищення → осадження → травлення» в одній камері. Моніторинг-у режимі реального часу забезпечує стабільну продуктивність плівки для кожної партії.

Широка сумісність

Спеціально для 8-дюймових пластин. Використовує стандартні компоненти, що робить технічне обслуговування легким і безперебійною інтеграцією з існуючими виробничими лініями.

Додатки

01/

Компоненти жорсткого диска:Відкладає ключові плівки (наприклад, шари жорсткого магнітного зміщення) для головок зчитування HDD (TMR/AMR), забезпечуючи магнітну стабільність.

02/

Оптичні прилади:Готує стеки Брегга та інші оптичні плівки для лазерів, фотодетекторів і оптичних датчиків.

03/

Точні датчики:Відкладає функціональні плівки (магнітні, провідні) для MEMS/магнітних датчиків, підвищуючи чутливість.0

04/

R&D:Підтримує створення нових плівок (2D композитів, п’єзоелектричних плівок) в університетах і науково-дослідних інститутах.

Параметри

Категорія	8-дюймова система IBD
Вафельна сумісність	8-дюймів (основний); адаптується до часткових підкладок спеціального розміру за допомогою регулювання процесу
Конфігурація джерела іонів	Подвійне джерело-іонів- (джерело іонів розпилення + джерело допоміжних іонів); додаткова функція IBE (Ion Beam Etching).
Цільова ємність барабана	4-слотовий поворотний цільовий барабан (підтримує до 4 різних цільових матеріалів)
Температура осадження	Низько{0}}температурний процес (запобігає термічному пошкодженню пластин і чутливих пристроїв)
Тиск процесу	Середовище над-низького тиску (сприяє осадженню плівки високої-щільності)
Система керування плівкою	Система-оптичного керування в реальному часі (відстежує, аналізує та коригує спектр плівки в реальному часі)
Депоновані матеріали	Метали, сплави, оксиди та можливість налаштування для нових функціональних плівок (наприклад, 2D композитів, п’єзоелектричних плівок)
Інтеграція процесу	Інтегрований процес-очищення-осадження-травлення» (необов’язково, та сама камера)
Відповідність промисловості	Відповідає стандартам обробки напівпровідникової промисловості
Ключові компоненти	Запчастини міжнародного стандарту (низька вартість обслуговування, зручна заміна запчастин)