Втомилися від громіздкого обладнання, що займає вашу лабораторію чи невелике виробниче приміщення? Настільна система RTP RTP-100 створена для невеликих пластин (максимум 6 дюймів)-ідеально підходить для команд, яким потрібна точність без шкоди для площі. Він простий, надійний і адаптований до повсякденних потреб дослідників і дрібносерійних виробників.
Що нам подобається в цьому
Підходить як влитий: 910 мм × 860 мм × 695 мм (Ш × Г × В) він ковзає у тісних кутах або на переповнених робочих столах. Немає необхідності змінювати всю установку, щоб додати можливість термічної обробки.
Контроль температури, на який ви можете розраховувати: два способи регулювання тепла-термопара для кімнатної температури до 800 градусів та інфрачервоний пірометр для 500 градусів до 1200 градусів. Нагріває пластини до 150 градусів/с (набагато швидше, ніж із SiC або графітовими носіями, максимальна температура яких становить 20-30 градусів/с). А консистенція? Менше або дорівнює ±3 градуса рівномірно нижче 600 градусів, менше або дорівнює ±0,5% вище цього, плюс ±1 градус повторюваності, тому ваші результати не відрізнятимуться від партії до партії.
Без{0}}суєтної роботи: ручне завантаження/розвантаження спрощує роботу (чудово, якщо ви віддаєте перевагу ручному-керуванню), тоді як зумер і попереджувальні лампи повідомлять вам, якщо щось несправно. Керування ПК спрощує налаштування параметрів,-не потребуючи складного навчання.
Охоплює основи (і потім деякі): витримує вакуум до 30 мторр, утримує рівень кисню нижче 3 частин на хвилину та підтримує до 4 каналів MFC. Незалежно від того, чи виконуєте ви відпал іонною імплантацією, вирощування оксиду чи термічну обробку невеликих зразків, він перевіряє всі параметри для базової швидкої термічної обробки.
Для кого це
Це не для великих-заводів-це для лабораторних техніків, які проводять щоденні експерименти, невеликого виробника, який виготовляє спеціальні компоненти, або дослідницької групи, яка випробовує нові матеріали. Якщо ви працюєте з невеликими пластинами й потребуєте стабільних результатів без клопоту про-промислового обладнання, це для вас.
Короткі поради щодо правильного використання
Перемикання температурних режимів: Використовуйте термопару для температури до 800 градусів і перемикайте на інфрачервоне випромінювання в програмному забезпеченні ПК для будь-чого гарячішого. Система автоматично калібрується-приємно.
Завантаження вафель: Не пропускайте чисті рукавички! Результатом є відбитки пальців або пил. Поводьтеся обережно, не впускайте, і переконайтеся, що він знаходиться в центрі тримача-прості дії, які позбавлять вас головного болю.
Загальні виправлення: Якщо звуковий сигнал вимикається під час запуску, спочатку перевірте, чи щільно зачинені дверцята порожнини (ми всі про це забули!). Якщо швидкість нагрівання не досягає 150 градусів за секунду, переконайтеся, що ви не використовуєте носій,-який сповільнює його. І якщо ваші пластини неочікувано окисляються, двічі-перевірте вакуум (має бути менше або дорівнювати 30 мТорр) і рівень кисню (тримайте його<3 ppm).
Технічне обслуговування, яке має значення: щотижня протирайте кварцову камеру спиртом-бруд накопичується швидше, ніж ви думаєте. Перевіряйте лампи кожні 3 місяці (замінюйте через 1000 годин), а ущільнювальні кільця щомісяця на наявність тріщин. О, і не дозволяйте водяному охолодженню перевищувати 70 градусів -це швидкий спосіб пошкодити деталі.
Надійна робоча конячка
Сертифікована за стандартами SEMI S2, ця річ створена, щоб служити довго. У ньому немає яскравих додаткових функцій, якими ви ніколи не скористаєтеся, але він має головне: точність, компактність і простоту використання. Для лабораторій і невеликих команд, яким потрібне рішення для термічної обробки, яке працює день у день, RTP-100 — це не-зрозуміле рішення. Він не ідеальний (нічого немає!), але він надійний, і це те, що має значення, коли ви намагаєтеся продовжувати експерименти чи виробництво.
