Огляд продукції
Наша система іонно-променевого травлення (IBE) — це високо-обладнання для обробки матеріалів, розроблене для мікро-нано промисловості. У ньому використовується сфокусований і контрольований іонний промінь для виконання фізичного травлення на поверхні тонкоплівкових матеріалів, уможливлюючи процеси вибіркового травлення або підйому-з високою точністю.
Ця система професійно розроблена для обробки широкого діапазону тонкоплівкових-матеріалів, включаючи, але не обмежуючись цим, Cu, Cr, Pt, Au, Ti, Ag і Al₂O₃. Він підтримує стандартні розміри пластин 6 і 8 дюймів, що робить його сумісним із основними процесами виробництва напівпровідників і мікро-електро-механічних систем (MEMS). Використовуючи технологію травлення за низьких-температур і-пошкоджень, це ідеальне рішення для підготовки високо-ефективних мікро-нанопристроїв.
Переваги
Висока точність і контроль процесів
Система інтегрована з вдосконаленою системою виявлення кінцевих точок травлення, яка забезпечує-моніторинг у реальному часі та точний контроль усього процесу травлення. Це забезпечує чудову повторюваність і точність із рівномірністю травлення менше або дорівнює ±5% (як усередині пластини, так і від пластини-до-пластини), гарантуючи незмінні високоякісні-результати для виробничих партій.
Чудова сумісність процесів
Він відповідає -вимогам до багато-кутового травлення, низької-температури (0 градусів – 30 градусів) і малого{4}}пошкодження. Ця здатність має вирішальне значення для захисту-чутливих до температури та крихких матеріалів, мінімізації пошкодження підкладки та збереження внутрішніх властивостей тонких плівок, таким чином значно покращуючи продуктивність і продуктивність пристрою.
Гнучка та масштабована конфігурація
Щоб задовольнити різноманітні потреби у виробництві та науково-дослідних роботах, система пропонує додаткову архітектуру кластерних інструментів. Ця модульна конструкція дозволяє інтегрувати кілька технологічних камер, сприяючи бездоганній інтеграції процесу, великому-виробництву та ефективній автоматизації робочого процесу, що робить його придатним як для лабораторних досліджень, так і для масового промислового виробництва.
Додатки
Система іонно-променевого травлення є важливою частиною обладнання в галузі передового мікро-нано виробництва з широким спектром застосувань:
1. Виготовлення напівпровідникових приладів
Він використовується для точного моделювання металевих електродів, з’єднань і затворних структур в інтегральних схемах (ІС), а також для обрізання та налаштування тонкоплівкових резисторів і конденсаторів.
2. Виробництво MEMS і NEMS
Він відіграє важливу роль у виготовленні мікро-сенсорів, мікро-приводів та інших MEMS/NEMS-пристроїв, уможливлюючи створення мікроструктур із високим-співвідношенням-форматів і підвісних структур із високою точністю.
3. Виробництво оптико-електронних приладів
Його застосовують для обробки тонкоплівкових-матеріалів у лазерах, фотодетекторах і оптичних хвилеводах, полегшуючи виробництво високо-ефективних оптоелектронних компонентів.
4. Розширене пакування та взаємозв'язок
Він використовується в передових технологіях пакування для вибіркового травлення шарів перерозподілу (RDL) і підготовки високо-точних рельєфних структур.
Поширені запитання
З: 1. Що таке система іонно-променевого травлення (IBE)?
A: Система іонно-променевого травлення (IBE) – це високо-точне мікро-нанообробне обладнання, яке використовує сфокусований іонний промінь для виконання фізичного травлення тонкоплівкових-матеріалів. Він в основному використовується для вибіркового травлення та зняття різних тонких плівок і широко використовується в напівпровідниках, MEMS, оптоелектроніці та інших областях.
З: 2. Для яких матеріалів підходить система IBE?
A: Ця система IBE підходить для вибіркового травлення або зняття тонкоплівкових -матеріалів, таких як Cu, Cr, Pt, Au, Ti, Ag і Al₂O₃, і може задовольнити потреби в обробці різних звичайних металевих і діелектричних тонких плівок.
Q: 3. Які розміри пластин підтримує машина для травлення іонним променем?
A: Машина для травлення іонним променем підтримує два стандартних розміри пластин: 6 дюймів і 8 дюймів, що сумісно з основними специфікаціями обробки пластин у галузі та відповідає потребам науково-дослідних розробок і дрібно-серійного виробництва.
З: 4. Які переваги технології травлення іонним променем?
A: Травлення іонним променем має такі переваги, як низька температура (0 градусів ~30 градусів), низькі пошкодження, багато-обробка під кутом і висока рівномірність. Це може зменшити термічний стрес і пошкодження матеріалу, а також забезпечити стабільність і послідовність процесу травлення.
Q: 5. Що таке однорідність травлення системи IBE?
Так, машину для травлення іонним променем інтегровано з вдосконаленою системою виявлення кінцевих точок травлення, яка може контролювати процес травлення в режимі реального часу, здійснювати точний контроль процесу травлення та уникати надмірного або недостатнього травлення.
З: 6. Чи має машина для травлення іонним променем функцію виявлення кінцевої точки?
В: Так, машину для травлення іонним променем інтегровано з розширеною системою виявлення кінцевих точок травлення, яка може відстежувати процес травлення в режимі реального часу, здійснювати точний контроль процесу травлення та уникати пере-травлення або недостатнього-травлення.
П: 7. Чи можна налаштувати систему IBE із кількома технологічними камерами?
В: Так, система IBE підтримує додаткову кластерну архітектуру, яка може бути оснащена декількома технологічними камерами для травлення, щоб задовольнити потреби гнучкого перемикання процесів і підвищення ефективності виробництва.
Популярні Мітки: система ibe, Китай, виробники систем ibe, постачальники
